|
1. Тема: "Что такое фото/рентгенолитография и её состояние в нашей стране"
Докладчик: к.ф.-м.н. К.А. Меньшиков, ККСНИ
Аннотация:
В статье кратко описывается принципы фото- и рентгеновской литографии для изготовления интегральных микросхем (ИМС) с источниками излучения с длинами волн 193 нм и менее, в том числе принципы получения пространственного разрешения в несколько раз меньше используемой длины волны. Показано, почему в данное время использование источника синхротронного излучения для изготовления ИМС стало нецелесообразным. Указаны организации в РФ, которые имеют максимальный опыт разработки и изготовления важнейших узлов литографа.
2. Тема: "Глубокая рентгеновская литография. Краткий обзор"
Докладчик: д.ф.-м.н. В.Г. Станкевич, ККСНИ
Аннотация:
Глубокая рентгеновская литография с использованием синхротронного рентгеновского излучения имеет большие возможности для изготовления широкого класса микроустройств ключевых функциональных компонентов для различных областей науки и промышленности, требующих экстремального разрешения и большого аспектного отношения сторон, т.е., размера структуры и ее глубины. В качестве аппаратных систем они затрагивают многие ведущие отрасли индустрии, включая автомобилестроение, электроника, информационные системы, энергетика и окружающая среда, тонкая химическая технология, медицина и биология. Рассмотрены также проблемы, которые частично привели к демонтажу промышленных каналов ЛИГИ на некоторых синхротронах в Европе и Азии. Упомянуты работы по глубокой рентгеновской литография на синхротронах России.
(62 стр. текста, включая 42 стр. основного текста, 14 рис. и таблиц, список литературы из 217 наименований).
3. Тема: "О работе мировых синхротронных центров с промышленностью"
Докладчик: д.ф.-м.н. Н.Ю. Свечников, ККСНИ
Аннотация:
Проведен анализ работы синхротронных центров для целей индустрии. Анализ инициирован специальным выпуском журнала Synchrotron Radiation News (SRN) №2 (2024), который полностью посвящен данному вопросу и рассмотрению сопутствующих проблем и по усилению связки "промышленность – синхротронные исследования". Представлен краткий обзор, с привлечением дополнительных публикаций по отдельным исследованиям для промышленности в отмеченных в SRN центрах СИ: NSLS-II (США), ESRF-EBS (Франция), MAX-IV (Швеция), PAL (Корея), AichiSR (префектура Айчи, Япония), которые имеют наиболее тесные связи с промышленностью. Отмечено, что в отраслях промышленности появились новые потребности использования СИ, включая потребность в своевременном гибком и быстром доступе к объектам СИ, а также в комплексных услугах поддержки, охватывающих не только измерения, но и планирование экспериментов и анализ данных. Отдельно затронут вопрос о создании связки ТНК "Зеленоград" – промышленность, по аналогии с описанной в SRN эффективной работе с промышленностью территориального центра СИ AichiSR, где до 60% пучкового времени используется промышленными компаниями.
4. Обсуждение статей, подготовленных к опубликованию. Список статей
Все семинары |
