|
1. Тема: "Метрология шероховатости стенок наноструктур"
Докладчик: К.В. Николаев, НИЦ "Курчатовский институт"
Аннотация:
В ходе исследовательских работ по проекту СИЛА мы столкнулись с задачей характеризации шероховатости стенок наноструктур со сложной трёхмерной архитектурой. В литературе подобные задачи описаны преимущественно в контексте синхротронной метрологии и диагностики элементов микроэлектроники методом скаттерометрии. Описан экспериментальный подход и некоторые качественные соображения к анализу систем со сложной архитектурой. Однако, на данный момент, нет теории, позволяющей исследовать шероховатость таких систем количественно. Мы разрабатываем такой подход на основе динамической теории многоволновой дифракции и теории возмущения. В докладе мы рассмотрим первые попытки количественного анализа данных скаттерометрии.
2. Тема: "Расчет параметров первого рентгеновского зеркала каналов вывода синхротронного излучения – геометрия, покрытия, тепловые нагрузки"
Докладчик: А.А. Сенкевич, НИЦ "Курчатовский институт"
Аннотация:
В докладе будут представлены результаты расчета первого зеркала канала вывода синхротронного излучения, которое коллимирует пучок и позволят поглотить большую часть его тепловой мощности, тем самым отсекая высшие гармоники падающего излучения. Выполненные расчеты включают в себя определение формы и оптимальных габаритных размеров зеркала, выбор материала покрытия и анализ теплонагруженного состояния. Разработанная расчетная модель является параметризованной, что позволяет быстро получать результаты при изменении входных данных. Полученные результаты позволяют оценить значения линейных и угловых деформаций рабочей поверхности в сагиттальной и тангенциальной плоскостях, исходя из которых можно сделать вывод об изменении эксплуатационных характеристик зеркала и рациональности параметров системы охлаждения.
3. Обсуждение статей, подготовленных к опубликованию. Список статей
Все семинары |
