Тематический семинар Курчатовского комплекса синхротронно-нейтронных исследований НИЦ "Курчатовский институт"
Руководитель семинара А.Е. Благов,
заместители руководителя: С.Н. Якунин, В.Т. Эм

12.03.2026

26 марта (четверг) в 11.00 здание 348, зал 2053 (кинозал) совместный семинар отделов синхротронных и нейтронных исследований

Cеминар "Развитие специализированной инфраструктуры ТНК "Зеленоград" для задач EUV-литографии и материаловедения"

Повестка семинара

1. Доклад «Спектроскопия поглощения в химии EUV-резистов: задачи и концепция станции»
Авторы: Велигжанин А.А., Тригуб А.Л., Чумаков Р.Г., Савин С.С.
Докладчик: Велигжанин Алексей Александрович

2. Доклад «Оптическая метрология структур и материалов EUV-литографии»
Авторы: Пашаев Э.М., Субботин И.А., Борисов М.М., Беляева А.О., Кондратьев О.А., Лихачев И.А.

Докладчик:   Субботин Илья Александрович

3. Доклад «Станция Интерференционной Литографии на ТНК «Зеленоград»
Авторы: Репченко Ю.Л., Савченков П.С., Кондратьев О.А.
Докладчик:  Репченко Юрий Леонидович

4. Доклад «Станция ТНК для актиничной инспекции масок»
Авторы: Сафонов А.И., Сенкевич А.А., Николаев К.В.
Докладчик:  Николаев Константин Владимирович

5. Доклад «Реконструкция и модернизация ТНК «Зеленоград» - текущий статус и перспективы»
Докладчик:   Гончаренко Михаил Сергеевич

Все семинары